lunduniversity.lu.se

Denna sida på svenska This page in English

Laboration


NORMAL
Default Text w/image
Index: Yes

Syftet med laborationerna är att ge en inblick i några av de tekniker som utnyttjas inom mikroteknologin och att även ge en introduktion till de vanligaste processekvenserna för att framställa de sensorer som kommer att studeras vidare i kursen.


Kursens laboration då processtegen i tillverkningen av en kiselintegrerad givare genomförs. I gruppindelningschemat ges vilken sensor som respektive grupp arbetar med.


Under laborationerna får ni vara med om en sk. processomgång i framställningen av den sensor ni sedan skall karaktärisera mättekniskt. Studera det processschema som gäller för er sensor och läs avsnittet om anisotrop etsning av kisel i kursboken innan ni kommer till laborationen. Då det inte finns möjlighet att låta hela kursen genomföra alla processteg i framställningen av er egen sensor kommer institutionens personal att färdigställa sensorerna. Dock är det välkommet att besöka processlabbet när vi avslutar sensortillverkningen för att följa upp processgången och se hur er sensor växer fram.

Page Manager: